一、真空度測(cè)試儀測(cè)試原理與工作原理

本儀器采用磁控放電法進(jìn)行測(cè)量。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)一定的距離，施加電場(chǎng)脈沖高壓，將滅弧室置于螺線管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€圈置于滅弧室外側(cè)，向線圈通以大電流，從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)。這樣，在脈沖強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下，滅弧室中的帶電離子作螺旋運(yùn)動(dòng)，并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離，所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管型號(hào)（管型），由于其結(jié)構(gòu)不同，在同等觸頭開(kāi)距、同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下，離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線。當(dāng)測(cè)知離子電流后，就可以通過(guò)查詢?cè)摴苄偷碾x子電流一真空度曲線獲得該管型的真空度。

在常規(guī)磁控放電測(cè)試滅弧室的真空度時(shí)，為了提高其測(cè)試靈敏度，需從斷路器上卸下滅弧室，并置于螺線管線管內(nèi)。這樣一來(lái)，滅弧室在重新裝回?cái)嗦菲鲿r(shí)需要調(diào)整機(jī)械參數(shù)，工作量很大并需專業(yè)人員。而使用新型磁控線圈可以從側(cè)面包圍滅弧室，這樣就不必拆卸滅弧室。而采用單片微

機(jī)進(jìn)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理，提高了滅弧室真空度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試靈敏度。

二、真空度測(cè)試儀工作原理

真空度測(cè)試儀框圖如圖1所示。

整機(jī)由測(cè)量控制電路、電場(chǎng)高壓產(chǎn)生電路、磁場(chǎng)線圈電流控制電路、通訊、打印機(jī)、液晶顯示電路等組成。其工作過(guò)程為：由測(cè)量控制電路發(fā)出指令，由開(kāi)關(guān)電源給磁場(chǎng)電容充電，通過(guò)控制電路監(jiān)控，當(dāng)磁場(chǎng)電容上的電壓達(dá)到預(yù)定值后，控制電路發(fā)出兩路控制信號(hào)分別控制電場(chǎng)高壓的輸出和磁場(chǎng)線圈電流的導(dǎo)通，使滅弧室處于強(qiáng)電場(chǎng)、強(qiáng)磁場(chǎng)的狀態(tài)中，滅弧室開(kāi)始放電，產(chǎn)生離子電流I，如圖2中的曲線I所示。該電流經(jīng)取樣電阻R和預(yù)處理電路后輸入單片機(jī)，最后經(jīng)運(yùn)算由液晶顯示屏顯示測(cè)得的真空度值。